stepper scanner差異
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延伸文章資訊
- 1光刻機的工作原理及關鍵技術 - 今天頭條
目前光刻設備按照曝光方式分為Stepper和Scanner兩種。Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而Scanner是鏡頭沿Y方向的一個細長空間曝光,矽片和掩模 ...
- 2SCANNER比STEPPER_百度文库
首先讲throughput. 一开始一直觉得stepper 的throughput 比scanner 的快。因为在canon 机器背后听过它的shutter 发出很紧蹙的开关声,但是看ASML ...
- 3晶片裡面有幾千萬的電晶體是怎麼實現的? - 壹讀
若採用stepper 的step-and-expose 方式進行光刻,一個die 的區域必須能被包含在直徑32mm 的圓中,因此能獲得的最大的die 的尺寸為22×22mm;若採用scanner...
- 4知識力
... 目前大多是使用掃描機(Scanner)來進行光學曝光,但是步進機(Stepper)的 ... 上述內容經過適當簡化以適合大眾閱讀,與產業現狀可能會有差異,若您 ...
- 5stepper scanner差異 - 軟體兄弟
Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而Scanner是鏡頭沿Y方向的一個細長空間曝光,矽片和掩模 ... ,2018年9月10日— Stepper是傳統地一次性將整個區域進行曝光;而...