SCANNER比STEPPER_百度文库

首先讲throughput. 一开始一直觉得stepper 的throughput 比scanner 的快。

因为在canon 机器背后听过它的shutter 发出很紧蹙的开关声，但是看ASML scanner 曝光却很慢。

首页 文档工具 更多 搜索文档 新客立减13元 客户端 看过 登录 我们一直都在说 ，scanner 比 stepper 先进，但是为什么呢？                                                                     我刚刚接触litho的时候，也问过这个问题，想过这个问题，现在我把自己的理解跟大家分享一下。

                                                                     我觉得scanner的优势在于3个方面                                                                     1. throughput                                                                     2. better image                                                                     3. better uniformity                                                                                                                                           首先讲throughput.                                                                     一开始一直觉得stepper的throughput 比scanner的快。

因为在canon机器背后听过它的shutter发出很紧蹙的开关声，但是看ASML scanner曝光却很慢。

后来慢慢发现，其实不是这样。

scanner or stepper 的 曝光的速度，不仅取决于机械运动的速度，更重要的是 dose control， 曝光量。

 曝光量简单的说就是光阻所接受到的光的量。

当然在制成中，要使wafer上特定厚度的 光阻 被曝出特定的cd,那么这个曝光量也是特定的。

所以，在曝光的时候，stepper的shutter不是打开后就立即关闭，而是需要等待一定的时间而达到所需的曝光量。

当然实际的时间会很短。

而scanner则是在shutter后不关闭，一直保持到field 曝完为止关闭。

那么这两种在时间上的区别因为stepper使用到整个的 lens, 所以为了保证整个shot范围都接受到足够的曝光，就必须使用更长的时间。

而scanner只要保证在slit范围内足够的光强，scanning 就会已尽可能快的速度完成。

就像我们电脑使用的串口与并口一样，虽然并口能够同时传送32位的信号，但是要保证每位信号的准确，