XRF (X-ray Fluorescence Spectrometer)光譜分析原理 - Rightek

XRF 的應用 ... XRF 作為非破壞性的無損檢測技術，適用於古文物、藝術品的真偽鑑定，修復，亦可透過分析元素來對應其出土年代，歷史文化背景等資訊。

而在熱門的半導體產業中 ... 首頁 產品總覽 XRF(X-rayFluorescenceSpectrometer)光譜分析原理 XRF(X-rayFluorescenceSpectrometer)光譜分析原理 XRF如何進行元素分析？ 品牌iXRFSystem 關鍵字 螢光光譜儀 材料分析 表面分析 XRF 什麼是XRF? 首先了解X-Ray是如何產生? 波耳原子模型告訴我們，原子分為K、L、M層(K層:2個電子；L層:6個電子；M層:10個電子)，不同層級的電子具備不同能量。

而產生X-ray分為2個步驟: Step1：我們讓 X-ray燈源的正極與負極產生電壓差，使電子束加速撞擊至金屬靶材上。

當金屬原子內層的電子被撞擊後，會激發至激發態而游離，空出原本所在位置。

Step2：這時，外層電子會填補此空缺的電子位置，這時就會放出X-ray。

如何用X-ray進行元素分析? 我們先利用燈源產生的X-ray，照射至待測樣品上，使樣品元素中的內層電子游離，由外層電子填補內層空缺的電子位置，此時亦會放出X-ray。

依據週期表上原子序的不同，元素擁有特定的游離能量，而元素所放出的X-ray能量與內層電子受游離激發的能量相同。

也就是說，每個元素有自己的特徵X-ray，因此利用此原理進行光譜分析的技術稱為 X-rayFluorescenceSpectrometer(XRF)。

*不同層級電子放出的能量不一致，因此，我們以電子所在的shell位置作為譜線命名，如圖：上圖是依據不同層級的電子進行命名；下圖是實際XRF圖譜。

XRF的應用 XRF作為非破壞性的無損檢測技術，適用於古文物、藝術品的真偽鑑定，修復，亦可透過分析元素來對應其出土年代，歷史文化背景等資訊。

而在熱門的半導體產業中，XRF是半導體封裝製程可以快速檢測IC樣品內部缺陷，進行金屬薄膜，鍍層厚度分析，提高產品合格率不可缺少的技術之一。

點我了解更多半導體封裝製程缺陷分析技術：micro-XRF 相關產品 氣相汞分析儀|PSA 線上汞砷分析系統|PSA LIBS|AppliedSpectra|雷射剝蝕誘導電漿元素光譜分析儀 Laserablation(LA)|AppliedSpectra|雷射剝蝕系統 應用文章 上轉換(upconversion)奈米材料透視你的微血管─螢光影像醫學 石墨烯在螢光光譜的應用 想了解重金屬2D/3D分布分析：XRF做不到，讓LIBS幫助你! 光譜質譜雙管齊下，雷射剝蝕分析儀讓地質高低濃度分析一次完成 聯絡我們 立即與利泓聯繫，請填寫以下資訊，我們將請專員與您聯繫。

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